由于每家硅片企业的等级标准都不一样，以下标准针对的硅片厚度为220μm，仅供参考。

硅片优等品

1.硅片表面光滑洁净。 2.TV：220±20μm。 3.几何尺寸：边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm; 边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3.

硅片合格品

硅片一级品：1.表面有少许污渍、轻微线痕。2.220±20μm≤TV≤220±30μm。3.几何尺寸：边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm; 边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5.cheapradiishoes。

硅片二级品：1.表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。2.220±30μm≤TV≤220±40μm。3.凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。4.崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm。5.几何尺寸：边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm; 边长103±0.52mm、对角135±0.52mm; 边长150±0.52mm、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8.

硅片三级品：1.表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。2.220±40μm≤TV≤220±60μm。3.硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。

硅片不合格品

a.严重线痕、厚薄片：TV>220±60μm。b.崩边片：有缺损但可以改Φ103的硅片。c.气孔片：硅片中间有穿孔。d.外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。e.倒角片(同心度)：任意两个弧的弦长之差>1.5mm。f.菱形片(垂直度)：任意两边的夹角>90°±0.8.g.凹痕片：硅片两面凹痕之和>30μm。h.脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。i.尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。